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CNT Emitter
CNT 전계방출 소자
씨에이티빔텍만의 원천기술,
전계방출 특성이 뛰어난
CNT 에미터 제품군
탄소나노튜브 에미터(CNT Emitter)는 열, 전계, 플라즈마 등의 에너지로 혼합가스(C₂H₂, NH₃)를 분해하여 금속 혹은 실리콘 기판에 탄소나노튜브(CNT)를 성장시키는 과정을 통해 제작됩니다.
씨에이티빔텍의 직접성장형 탄소나노튜브 에미터는 전계방출 특성이 뛰어날 뿐 아니라 다양한 형태로 제작이 가능하여 X-ray 전자방출원에 최적화된 제품입니다.
씨에이티빔텍의 직접성장형 탄소나노튜브 에미터는 전계방출 특성이 뛰어날 뿐 아니라 다양한 형태로 제작이 가능하여 X-ray 전자방출원에 최적화된 제품입니다.
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Features
• CVD 방식을 통한 직접성장
• 높은 생산 재연성
• 다양한 기판 형태 구현 가능
• 우수한 전계방출 성능
에미터의 전계방출 특성
전자주사 현미경을 통해
5000배 확대한 CNT Emitter
5000배 확대한 CNT Emitter
투과형 전자 현미경으로
확인한 CNT의 결정성
확인한 CNT의 결정성
Specification
| 모델 | 규격 (W×H×T, ㎜) |
기판종류 (소재) |
기판면적 (㎠) |
에미션면적 (㎠) |
제작방식 | CNT높이 (㎛) |
최고출력전류 (㎃) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
 ES-100A
|
8×2×0.1 | Ni alloy | 0.274 | 0.1377 | TCVD | 100~200 | 10 |
 EH-100A
|
8×2×0.1 | Ni alloy | 0.274 | 0.21 | TCVD | 100~200 | 10 |
 ER-060A
|
Φ5×0.1 | Ni alloy | 0.28 | 0.157 | TCVD | 100~200 | 6 |
 EV-200A
|
0.1×8×2 | Ni alloy | 0.054 | ＜0.01 | TCVD | 100~200 | 20 |